화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Modified Principal Component Analysis for In-situ Endpoint Detection of Dielectric Layers Eteching Using Plasma Impedance Monitoring and Self Plasma Optical Emission Spectroscopy
장해규, 채희엽
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
3 Real-Time Endpoint Detection for SiO2 Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis
장해규, 김대경, 채희엽
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
2 Free-standing film electronics using photo-crosslinking layer-by-layer assembly
김주희, 이민정, 임성희, 김경준, 장해규, 김연상
한국고분자학회 2009년 가을 학술대회
1 Patchable organic transistors using photo-crosslinking layer-by-layerassembly
김주희, 이민정, 임성희, 김경준, 장해규, 김연상
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회