번호 | 제목 |
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4 |
Modified Principal Component Analysis for In-situ Endpoint Detection of Dielectric Layers Eteching Using Plasma Impedance Monitoring and Self Plasma Optical Emission Spectroscopy 장해규, 채희엽 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
3 |
Real-Time Endpoint Detection for SiO2 Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis 장해규, 김대경, 채희엽 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
2 |
Free-standing film electronics using photo-crosslinking layer-by-layer assembly 김주희, 이민정, 임성희, 김경준, 장해규, 김연상 한국고분자학회 2009년 가을 학술대회 |
1 |
Patchable organic transistors using photo-crosslinking layer-by-layerassembly 김주희, 이민정, 임성희, 김경준, 장해규, 김연상 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |