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재귀 신경망 네트워크 모델에 기반한 플라즈마 system identificaiton
최솔지, 하대근, 구준모, 박담대, 한종훈
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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광진단계를 활용한 실시간 플라즈마 상태변수 제어기 설계
구준모, 하대근, 박담대, 노현준, 유상원, 김곤호, 백계현, 한종훈
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Fault detection and diagnosis of nonlinear process using various types of principal component analysis
이호동, 하대근, 김창수, 한종훈
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Real-time Multivariate Model Predictive Control of Plasma Etch Process
박담대, 구준모, 하대근, 유상원, 노현준, 한종훈
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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LNG 액화 공정의 이상진단 및 모니터링 시스템 개발
하대근, Usama Ahmed, 한종훈
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Control Strategies for Plasma Etching Process of Si in SF6/O2
한종훈, 구준모, 하대근, 박담대
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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다변량 통계분석 기법과 인과관계 분석법에 기반한 화학 공정의 이상진단 방법론
한종훈, 박담대, 구준모, 편하형, 하대근
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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Statistical variable selection of OES signal for identifying key process characteristics in plasma etching
하대근, 구준모, 박담대, 노현준, 유상원, 한종훈
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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플라즈마 에칭 공정에서의 Model Predictive Control기법을 이용한 컨트롤 전략
구준모, 하대근, 한종훈
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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A study of fault propagation path for process diagnosis
편하형, 하대근, 한종훈
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
