화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 기계적 특성|Effect of reactive CH4 gas flow in sputtering process on tribological properties of deposited boron carbide thin film
이광은, 김종오, 김종희, 박명진
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
1 반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target
이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오
한국재료학회 2003년 가을 학술대회