| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
모노실란 투입량 조절에 의한 지멘스 공정에서의 Si Deposition rate 최적화 정현준, 정재학 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 1 |
모노실란을 이용한 지멘스 공정에서의 Si Deposition rate 최적화 연구 권성민, 정재학 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
모노실란 투입량 조절에 의한 지멘스 공정에서의 Si Deposition rate 최적화 정현준, 정재학 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 1 |
모노실란을 이용한 지멘스 공정에서의 Si Deposition rate 최적화 연구 권성민, 정재학 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |