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Solid phase formation and stoichiometry of the plasma-enhanced atomic layer deposited Tantalum carbo-nitride films using TBTDET and hydrogen 송문균, 이시우 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
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원자층 증착 공정을 이용한 탄탈륨 카보나이트라이드 박막의 조성 및 고체 상 변화에 따른 박막 특성 연구 송문균, 이시우 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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TiO2/ZnO 코아-쉘 나노섬유의 합성 및 특성 최선우, 이준원, 박성훈, 박재영, 이종무, 김상섭 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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원자층 증착법으로 증착시킨 SrO-RuO2 적층구조의 열처리에 의한 perovskite-SrRuO3형성 및 DRAM 캐패시터 전극특성에 관한 연구 안지훈, 김성욱, 오흥룡, 김지혜, 강상원 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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Passivation effects of pentacene field-effect transistors 전하영, 신권우, 양상윤, 박찬언 한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
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The properties of fabricated electrochromic device from CVD-deposited WO3 and ALD-deposited NiO 정 훈, 김연홍, 석경석, 임경택, 김도형 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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원자층 증착법을 이용한 Tantalum carbonitride 박막의 증착 및 특성 평가 송문균, 이시우 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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후속 열처리에 따른 ZnO 박막 특성 연구 김초롱, 이재엽, Zhao Xiuqin, 임재영, 류혁현, 장지호, 이홍찬 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Surface passivation of BaMgAl10O17O:Eu2+ coated with Silicon oxide by catalyzed atomic layer deposition 정영규, 김혁종, 김희규, 최병호 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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전구체 노출시간을 조절하는 원자층 증착기술(ALD)을 이용한 ZrO2 나노튜브 성장 성낙진, 윤순길, 신웅철, 류상욱 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |