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원자층 증착 방법에 의한 실리콘 질화막 특성에 관한 연구|The Characteristics of Silicon Nitride Thin Film by Atomic Layer Deposition
천민호, 한창희, 김운중, 이원준, 이연승, 나사균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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CMOS 적용을 위하여 질소플라즈마 효과를 이용한 초박막 HfO2 게이트 유전체의 전기적, 신뢰성 특성 평가|Electrical and reliability characteristics of ultra-thin HfO2 gate dielectrics by N2 plasma treatment for CMOS application
김전호, 최규정, 윤순길, 이원재, 김진동
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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원거리 플라즈마 ALD(Atomic Layer Deposition)법으로 증착한 ZrN 확산방지막의 특성에 관한 연구|Characteristics of ZrN deffusion barrier deposited by remote plasma enhanced atomic layer deposition method
황윤철, 조승찬, 김인배, 김양도, 김주연, 전형탁
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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단일 패널 LCoS 디스플레이를 위한 무기 배향막의 경사 증착 특성|Characteristics of inorganic alignment layer for single panel LCoS by obliquely deposition
이찬재, 김원근, 한정인, 이유진, 김민석
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Preparation of HfN Thin Film by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using tetrakis(dimethylamino)hafnium
김은정, 김도형
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Substrate의 높이에 따른 parylene 박막의 특성
윤인수, 박진호, 여석기, 윤덕선, 송민철
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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펄스레이져 증착법을 이용한 PbZrO3/PbTiO3 산화물 인공격자의 성장 과 scanning force microscope를 이용한 전기분극특성 연구|The growth of PbZrO3/PbTiO3 oxide artificial lattice deposited by pulsed laser deposition and characterization of ferroelectric domain by scanning force microscope
최택집, 김진수, 박배호, 이재찬
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가|Microstructural characterization of TiN thin films prepared by DC magnetron sputtering
김경원, 이태권, 김호정, 이순영
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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AC-PDP에 사용되는 MgO 보호막의 증착 변수에 따른 물성에 관한 연구|Properties of MgO protecting layer deposited by different conditions for AC-PDP
박선영, 이미정, 김수길, 문성환, 김형준
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target
이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
