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SiO2 RF power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 TiO2-SiO2 절연막의 특성(Effects of SiO2 RF power and deposition time in high-k TiO2-SiO2 dielectric layers)
김성연, 함문호, 명재민
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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A Study on the Charateristics of BZO Thin Films for TCO Electrodes Prepared by RF Magnetron Sputtering
Jihye Kim, Jaesung Hur, Jihoon Park, Jungbin Song, Samsuk Jang, Dongjin Byun
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Photoluminescence Study of RF magnetron sputtered ZnO:Al thin films by change of Al composition
정채환, 김태원, 장덕례, 최범호, 김호성
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Effect of rf-sputtered indium zinc oxide thin films on efficiency of dye sensitized solar cell with low temperature process
리유에롱, 민수련, 조한나, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Indium zinc oxide thin films deposited by radio frequency magnetron sputtering for fabrication of flexible dye sensitized solar cell
리유에롱, 조한나, 민수련, 노수진, 정지원
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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Dry Etching of IZO Thin Films Using a C2F6/Ar Plasma
조한나, 민수련, 이유에롱, 정지원
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Electrical Property Improvement of Organic Solar Cell by Oxygen Plasma Surface Treatment
장선기, 김금주, 채희엽, 정동근
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Ru 하드 마스크를 이용한 Al 박막의 건식 식각
민수련, 조한나, 임성근, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
조한나, 리유에롱, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si
이형무, 박창한, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
