| 번호 | 제목 |
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Molecular/Organic Seminconductor Devices and Logic Gates 정태형 한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
| 4 |
SiO2/CVD-HfAlO/Pt-electrode gate 구조에서 H-termination효과 및 전기적 특성의 관찰|H-termination effect and electrical property of SiO2/CVD-HfAlO/Pt-electrode gate stack 최지훈, 이치훈, 박재후, 이석우, 황철성, 김형준 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
| 3 |
기능성 Slurry를 이용한 미래 CMP 공정 기술 개발 이상익, 박형순, 신종한, 김창일, 정종구, 송서영 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
| 1 |
초고집적 소자를 위한 구리의 PECVD 에 관한 연구 이경옥, 황순택, 최광진, 최형수, 조영상 한국화학공학회 1995년 봄 학술대회 |
