| 135 |
Characterization and microfabrication of Allylhydrocarbosilane glass microfluidic channels from preceramic polymer by imprint lithography
민경익, 김동표
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 134 |
Experimental Determination of Thermal Conductivity of Multilayered Thin Films Using Photothermal Effect
박창한, 김창구, 김현정, 유재석
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 133 |
MEMS Fabrication of Microfluidic-Channels Applicable to Aris-Taylor Dispersion Study
김태하, 전명석, 이강택
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 132 |
Effect of Process Variables on Electrodeposition of NiMoP Films
윤형진, S. M. S. I. Dulal, 남궁윤미, 신치범, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 131 |
Development of electrolytesfor electrodeposition of NiMoP thin films
남궁윤미, S.M.S.I. Dulal, 윤형진, 이혜민, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 130 |
Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
| 129 |
CMP개론 및 현황 (The State-of-the-Art in CMP Technology)
박진구
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 128 |
Study of substrate temperature effect on FC(Fluorinated carbon) film using C4F8(Octafluorocyclobutane) precursor.
성미린, 이계영, 김규채, 이선영, 임현우
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 127 |
Understanding of dry etching of polycarbonate based on O2 plasmas
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 이제원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 126 |
Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas.
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
