| 50 |
Properties of lanthanum oxide deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition
Byung-woo Kang, Woong-sun Kim, Dae-yong Moon, Jong-wan Park
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 49 |
Ruthenium Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition
Woong-Chul Shin, Kyu-Jeong Choi, Hyun-June Jung, Soon-Gil Yoon, Soo-Hyun Kim
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 48 |
Electrical properties of Zr-doped TiO2 thin films for DRAM capacitors
권 혁, 박현희, 하정숙
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 47 |
Electrical and Optical Properties of Fluorocarbon Films Deposited in C4F8 Plasmas
박병훈, 권혁규, 산토시구마르마하파트라, 김창구
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
| 46 |
CMOS SCALING AND GATE STACK TECHNOLOGY PROGRESS
최리노
한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
| 45 |
반도체 세정기술의 개발 동향
백귀종
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
| 44 |
Nonvolatile charge trap memory devices using ordered arrays of cobalt nanocrystals from diblock copolymer micelles
이장식, 이재갑, 손병혁
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회 |
| 43 |
In-situ diagnosis of tantalum precursors using Fourier transform infrared (FT-IR) spectroscopy
Sukhoon Kim, Moonkyun Song, Shi-Woo Rhee
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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The Electrical Characteristics of TiO2/Al2O3/TiO2 nano-laminated thin film by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
주대권, 전우진, 강상원
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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Electrical properties of lanthanum hafnium oxide thin films deposited by electron cyclotron resonance atomic layer deposition
김웅선, 고명균, 김태섭, 박상균, 박종완
한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
