화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Solid phase reaction을 통해 제조한 HfSiON 의 특성|Characterization of HfSiON as gate dielectrics fabricated by solid phase reaction
고한경, 이태호, 김철성, 안진호
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
3 MOMBE로 성장한 고유전 HfO2 박막의 전기적 특성|Properties of high-k HfO2 films grown by MOMBE
문태형, 함문호, 김명석, 윤일구, 명재민
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
2 MOCVD법을 이용하여 증착된 (Ba,Sr)RuO3 박막의 특성평가|CHARACTERIZATION OF (Ba,Sr)RuO3 FILMS DEPOSITED BY MOCVD
김병수, 김윤수, 김현철, 최덕균
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
1 CVD법으로 제작한 (1-x)Ta2O5xTiO2 박막의 열처리 온도에 따른 특성변화|Characteristics of (1-x)Ta2O5xTiO2 thin film at various annealing temperature by CVD
강필규, 진정근, 강호재, 노대호, 안재우, 변동진
한국재료학회 2003년 가을 학술대회