| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
EUV photomask의 ozonated deionized water (DIO3) 세정 후Ru capping layer의 표면 변화 연구 서동완, 배진성, 정준의, 임상우 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
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EUV photomask의 ozonated deionized water (DIO3) 세정 후Ru capping layer의 표면 변화 연구 서동완, 배진성, 정준의, 임상우 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |