| 번호 | 제목 |
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직류아크 플라즈마를 이용한 태양전지용 실리콘 Texturing 공정 연구 좌상범, 강인제, 천세민, 이헌주 한국공업화학회 2011년 가을 학술대회 |
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규산염계 첨가물에 따른 단결정 실리콘 태양전지용 텍스쳐링 용액의 특성 연구 강병준, 탁성주, 이승훈, 박성은, 이종한, 강민구, 최수영, 김동환 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
| 18 |
반도체 후공정에서 세정공정 및 세정액 특성 평가 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |
| 17 |
Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
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알칼리용액을 이용한 단결정 실리콘의 이방성습식식각 서인규, 안효섭, 변창섭, 김선태 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
| 15 |
축전결합 CF4/O2/Ar 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate 건식식각 비교 노호섭, 박연현, 이성현, 박주홍, 송한정, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 14 |
O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 조관식, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 13 |
기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각 김재권, 주영우, 박연현, 조관식, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 12 |
Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발 강형범, 조시형, 서정호, 조민수, 임현우, 박진구 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
| 11 |
플라즈마내의 이온 충격을 이용한 Photoresist strip 용액의 활성화방법 연구 김수인, 이창우 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
