화학공학소재연구정보센터
번호 제목
66 Ga2O3 nano-flake의 제작 및 응용
김만경, 김유경, 장수환
한국공업화학회 2020년 봄 학술대회
65 산성 용액 내 InGaAs 표면의 산화 및 식각 특성 연구
나지훈, 임상우
한국화학공학회 2019년 가을 학술대회
64 Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases
길유정, 김두산, 김주은, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
63 Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma
신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
62 Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구
김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
61 Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2019년 봄 학술대회
60 면 결정 방향에 따른 β-Ga2O3의 습식 식각 특성 연구
김만경, 신호성, 장수환
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회
59 Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol
박진수, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
58 C7F14 플라즈마를 이용한 SiO2, Si3N4의 식각 연구
탁현우, 성다인, 양경채, 김수강, 김동우, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
57 GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구
김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영
한국재료학회 2018년 봄 학술대회