번호 | 제목 |
---|---|
66 |
Ga2O3 nano-flake의 제작 및 응용 김만경, 김유경, 장수환 한국공업화학회 2020년 봄 학술대회 |
65 |
산성 용액 내 InGaAs 표면의 산화 및 식각 특성 연구 나지훈, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
64 |
Study on Etch Characteristics of PRAM material using Hydrogen based Gases 길유정, 김두산, 김주은, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
63 |
Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
62 |
Pulsed biased 적용을 통한 Si와 TiO2 나노구조체의 식각 특성 향상에 대한 연구 김희주, 신예지, 오지수, 김교운, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회 |
61 |
Plasma etching of SiO2 using perfluoropropyl vinyl ether 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2019년 봄 학술대회 |
60 |
면 결정 방향에 따른 β-Ga2O3의 습식 식각 특성 연구 김만경, 신호성, 장수환 한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
59 |
Plasma etching of SiO2 using hexafluoroisopropanol 박진수, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
58 |
C7F14 플라즈마를 이용한 SiO2, Si3N4의 식각 연구 탁현우, 성다인, 양경채, 김수강, 김동우, 염근영 한국재료학회 2018년 가을 학술대회 |
57 |
GWP가 낮은 C3F6O/Ar 가스를 이용한 친환경 SiO2 식각 연구 김수강, 양경채, 신예지, 성다인, 탁현우, 염근영 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |