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Preparation of TaN thin film By H2 Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum
김등관, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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올레핀 제조를 위한 금속산화물이 담지된 제올라이트 촉매
송종훈, Igor Filimonov, 강전한, 최준선, 이원호
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Preparation of TaN thin film By Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using Tert-butylimino-tris-diethylamino tantalum
김등관, 김도형
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Preparation of HfN Thin Film by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using tetrakis(dimethylamino)hafnium
김은정, 김도형
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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ECR 상온화학증착법에 의해 PET 기판에 제조된 구리 박막의 표면전처리에 따른 접착력 특성|Effect of surface modification on adhesion of copper films on PET prepared by ECR-MOCVD
현진, 변동진, 이중기
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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원자층 나노박막 증착을 위한 표면화학 연구|Surface chemistry study for atomic layer chemical vapor deposition
용기중|Kijung Yong
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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안티모니 3-5족 화합물 반도체 표면에서 유기금속 전구체의 분해반응 연구|Surface decomposition study of organometallic precursors on antimony containing III-V compound semiconductors
용기중|Kijung Yong
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Sonochemistry 을 이용한 Ba(DPM)2 의 합성|Synthesis of Ba(DPM)2 by sonication
이진안, 조성일, 문상흡, 현택환.|Jin an Lee, Seung-Il Cho, Sang heup Moon.Taek hwan Hyeon
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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TiN 유기금속 화학증착 공정을 위한 tetrakis-dimethyl-amino-titanium의 열분해특성에 관한 연구|Study on thermal decomposition of tetrakis-dimethyl-amido-titanium for TiN metal-organic chemical vapor deposition
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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Tetrakis (dimethylamido) titanium을 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서의 기상반응에 대한 연구|Study on the Gas Phase Reaction in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of TiN
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
