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The characterization of ZnO hybrid structure grown by metal-organic chemical vapor deposition
김아영, 장삼석, 이도한, 임소영, 변동진
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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The effect of growth temperature on the epitaxial growth of vertically aligned ZnO Nanowires by chemical vapor deposition
임소영, 이도한, 장삼석, 김아영, 변동진
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
| 9 |
ZnO 박막의 산소 분압에 따른 성장 모드 변화
이도한, 장삼석, 임소영, 변동진
한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
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Plasma를 통한 기판 전처리가 구리 박막 성장에 미치는 영향
진성언, 최종문, 이도한, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균
한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어가스가 박막성장에 미치는 영향
최종문, 이도한, 진성언, 이승무, 변동진, 정택모, 김창균
한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
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구리 박막의 증착 분위기와 처리 과정에 따른 변화
이도한, 변동진, 진성언, 최종문, 김창균, 정택모
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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CVD를 이용한 Cu 증착 시 plasma 전처리로 인한 구조적 특성의 비교 분석
진성언, 변동진, 이승무, 박지훈, 이도한, 최종문, 김창균, 정택모
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Cu(dmamb)2를 이용한 CVD Cu 박막의 제조 시 증착온도가 박막의 미세구조에 미치는 영향
최종문, 변동진, 이도한, 진성언
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Surface charateristics of sputtered Ta, Ti as barrier layer for copper deposition
이도한, 진성언, 김영석, 변동진
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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압력, 온도, 유속에 따른 SiC 박막의 특성
이도한, 이성일, 김나리, 김재수, 변동진
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
