| 번호 | 제목 |
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| 1 |
후속 열처리가 ALD로 성막된 Al2O3 박막의 유전특성에 미치는 영향|Effect of Post-Treatments on Electrical/Dielectric Properties of Al2O3 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition 소병수, 김성문, 황진하, 김영환, 조원태, 안기석 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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후속 열처리가 ALD로 성막된 Al2O3 박막의 유전특성에 미치는 영향|Effect of Post-Treatments on Electrical/Dielectric Properties of Al2O3 Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition 소병수, 김성문, 황진하, 김영환, 조원태, 안기석 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |