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Hot embossing을 이용한 vertical probe card needle의 제조
서종완, 김장현, 서수정
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Catalytic dimerization of TFE over activated carbon supported ruthenium catalyst
이용준, 문동주, 김용식, 김홍곤, 안병성, 홍석인
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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C4F8을 이용한 나노미터 두께를 가지는 Hot Embossing 용 마스터의 점착방지막 형성|(Nanometer Thick Fluorocarbon Films for Hot Embossing Master using C4F8)
김인권, 차남구, 이진형, 박진구
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Studies on Catalytic Dimerization of Tetrafluoroethylene
정정조, 문동주, 이용준, 이상득, 안병성
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구|Profile control of high aspect ratio silicon trench etch using SF6/O2/BHr plasma chemistry
함동은, 신수범, 안진호
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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불화탄소 플라즈마 식각시 바닥면으로부터 방출된 입자들이 벽면특성에 미치는 영향|Effects of bottom-emitted particles on the sidewall property in fluorocarbon plasma etching
민재호,황성욱,이겨레,문상흡|Jae-Ho Min,Sung-Wook Hwang,Gyeo-Re Lee,Sang Heup Moon
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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RC-318 제조 촉매 개발|Preparation of RC-318 over catalysts
김기남, 김영걸, 정종식|Ki Nam Kim, Young Gul Kim, Jong Shik Chung
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
