번호 | 제목 |
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3 |
Fabrication of Single Au-bridged nanoparticle-based Biosensor for detecting DNA point mutation 김수현, Xingyi Ma, 송소진, 전명진, 심상준 한국공업화학회 2018년 가을 학술대회 |
2 |
Modified Principal Component Analysis for In-situ Endpoint Detection of Dielectric Layers Eteching Using Plasma Impedance Monitoring and Self Plasma Optical Emission Spectroscopy 장해규, 채희엽 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
1 |
Real-Time Endpoint Detection for SiO2 Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis 장해규, 김대경, 채희엽 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |