화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Fabrication of Single Au-bridged nanoparticle-based Biosensor for detecting DNA point mutation
김수현, Xingyi Ma, 송소진, 전명진, 심상준
한국공업화학회 2018년 가을 학술대회
2 Modified Principal Component Analysis for In-situ Endpoint Detection of Dielectric Layers Eteching Using Plasma Impedance Monitoring and Self Plasma Optical Emission Spectroscopy
장해규, 채희엽
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
1 Real-Time Endpoint Detection for SiO2 Film Plasma Etching Using Impedance Analysis with Modified Principal Component Analysis
장해규, 김대경, 채희엽
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회