화학공학소재연구정보센터
번호 제목
18 E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각
박익현, 이장우, 민수련, 정지원
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
17 High Density Plasma Etching of Hard Mask Materials of SiO2, α-C:H, and ZnO
라현욱, 옥치원, 이 석, 김상훈, 한윤봉
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
16 SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각
송영수, 신 별, 정지원
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
15 High Density Plasma Etching of Magnetic Multi-layers of NiFe/Co and NiFe/Al-O/Co
라현욱, 한윤봉
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
14 플라즈마와 표면굴곡과의 상호작용|Interaction of a Plasma with Surface Topography
김창구|Chang-Koo Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
13 MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications
박형조,한윤봉|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
12 고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma
변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
11 Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Polysilicon Thin Film in Cl2/Ar and C2F6/Ar Gases
변요한, 김혜인, 정지원|Yo Han Byun, Hye In Kim, Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회
10 실리콘의 건식식각에서 Microtrench의 생성 메카니즘|Formation Mechanism of Microtrench in Dry Etching of Silicone
임연호,한윤봉|Y. H. Im,J. S. Park,Y. B. Hahn
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회
9 고밀도 플라즈마를 이용한 Y-Ba-Cu-O 초전도체 식각 및 소자 제작|High Density Plasma Etching of Y-Ba-Cu-O Superconductor and Device Application
임연호,한윤봉,강형곤,한병선|Y. H. Im,Y. B. Hahn,H. G. Kang,B. S. Han
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회