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E-beam lithography를 이용하여 나노미터 크기로 패턴된 magnetic tunnel junction (MTJ)의 건식식각 박익현, 이장우, 민수련, 정지원 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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High Density Plasma Etching of Hard Mask Materials of SiO2, α-C:H, and ZnO 라현욱, 옥치원, 이 석, 김상훈, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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SiO2 hard mask를 이용한 자성 박막의 건식 식각 송영수, 신 별, 정지원 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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High Density Plasma Etching of Magnetic Multi-layers of NiFe/Co and NiFe/Al-O/Co 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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플라즈마와 표면굴곡과의 상호작용|Interaction of a Plasma with Surface Topography 김창구|Chang-Koo Kim 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications 박형조,한윤봉|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Polysilicon Thin Film in Cl2/Ar and C2F6/Ar Gases 변요한, 김혜인, 정지원|Yo Han Byun, Hye In Kim, Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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실리콘의 건식식각에서 Microtrench의 생성 메카니즘|Formation Mechanism of Microtrench in Dry Etching of Silicone 임연호,한윤봉|Y. H. Im,J. S. Park,Y. B. Hahn 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 Y-Ba-Cu-O 초전도체 식각 및 소자 제작|High Density Plasma Etching of Y-Ba-Cu-O Superconductor and Device Application 임연호,한윤봉,강형곤,한병선|Y. H. Im,Y. B. Hahn,H. G. Kang,B. S. Han 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |