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Surface reaction modeling for oxygen effect in fluorocarbon plasma etch process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 박재형
한국화학공학회 2018년 봄 학술대회 |
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3D Feature Profile Simulation of Cyclic Fluorocarbon Atomic Layer Etching Process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Molecular Dynamic Simulation for Contact Hole Etching Process under Fluorocarbon plasma
육영근, 유혜성, 최광성, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Real-time Multivariate Model Predictive Control of Plasma Etch Process
박담대, 구준모, 하대근, 유상원, 노현준, 한종훈
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Simulation of the kinetic models of plasma deposition and etching in semiconductor fabrication
유혜성, 임연호, 장원석, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model
육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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3D Charge-up simulation coupled with realistic plasma surface reaction model in plasma etch process
유혜성, 육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성, 임연호
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Cost effective and mass-producible platform to fabricate chemical and biological nanowire sensors
안의진, 김진태, 유찬석, 정희춘, 조윤성, 임연호
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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Unique Class of Membrane for Water Treatment: Densified Outer-Wall Carbon Nanotube Membrane and carbon nanotube wall membrane
이병호, 윤제용
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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Charge-up simulation coupled with unified semi-global surface model for UHARC plasma etching in semiconductor fabrication
임연호, 최광성, 유동훈, 조덕균, 육영근, 장원석, 유혜성
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
