화학공학소재연구정보센터
번호 제목
80 Quantitative Comparison of Silica and Ceria Abrasive Contamination on PVA Brush and Its Effect on Post CMP Cleaning Process
조휘원, 류헌열, 황준길, 이찬희, 김여호, 김태곤, Nagendra Prasad Yerriboina, 박진구
한국재료학회 2019년 가을 학술대회
79 C7F14 플라즈마를 이용한 SiO2, Si3N4의 식각 연구
탁현우, 성다인, 양경채, 김수강, 김동우, 염근영
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
78 Pressureless Sintering and Thermal Conductivity Analysis of Silicon Nitride Ceramics with Raman Spectroscopy
Jung Hoon Kong, Do Kyung Kim
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
77 Characteristics of Si3N4 thin film‘s growth on IT glass by RF magnetron sputtering process
손정일, 김남혁, 김광수
한국재료학회 2018년 가을 학술대회
76 Water Assisted Transfer Printing을 이용한 TiO2 optical strain sensor 제작
김원중, 허대홍, 김수정, 성영훈, 이헌
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
75 Investigation of Mechanical Property and Thermal Conductivity of Pressureless Sintered Silicon Nitride Ceramics with Rare-Earth Oxide additives
Jung Hoon Kong, Wook Ki Jung, Ho Jin Ma, Do Kyung Kim
한국재료학회 2018년 봄 학술대회
74 A Study on Mechanical and Thermal Conductive Properties of Pressureless Sintered Silicon Nitride Ceramics
Jung Hoon Kong, Wook Ki Jung, Ho Jin Ma, Do Kyung Kim
한국재료학회 2017년 가을 학술대회
73 첨가제를 통한 인산의 Si3N4/SiO2 선택적 습식 에칭 능력 향상
손창진, 임상우
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
72 Characteristics of C3F6O/O2 plasmas for chamber cleaning
Sung Woo Park, Kyung Che Yang, Geun Young Yeom
한국재료학회 2016년 봄 학술대회
71 Study on a new microwave remote plasma source for high flow rate(20 slm) F-radical generation
추원일, 유현종
한국공업화학회 2016년 가을 학술대회