| 7 |
3D feature profile simulation of mask effects in high aspect contact hole etch process
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 6 |
Large scale feature profile simulation for plasma etch process of high aspect ratio contact hole
육영근, 유동훈, 장원석, 최광성, 조덕균, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 5 |
3D feature profile simulation coupled with realistic surface kinetic chemical reaction for pulsed etch process in fluorocarbon plasmas
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 4 |
GPU based 3D feature profile simulation for ultra-high deep etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
| 3 |
3D feature profile simulation based on realistic surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in C4F6/Ar/O2 plasmas
장원석, 유동훈, 조덕균, 육영근, 천푸름, 이세아, 김진태, 김상곤, 권득철, 송미영, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 2 |
GPU based 3D feature profile simulation for plasma etch process
조덕균, 유동훈, 육영근, 장원석, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 1 |
3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etching processes
육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 김진태, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
