| 번호 | 제목 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 Y-Ba-Cu-O 초전도체 식각 및 소자 제작|High Density Plasma Etching of Y-Ba-Cu-O Superconductor and Device Application 임연호,한윤봉,강형곤,한병선|Y. H. Im,Y. B. Hahn,H. G. Kang,B. S. Han 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching 임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식각 장비 진단|Diagnostics of High Density Plasma Etcher by Langmuir Probe 박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
