화학공학소재연구정보센터
번호 제목
13 nMOS capping layer La2O3의 습식 에칭 kinetics 및 mechanism 연구
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
12 nMOS high-k gate stack 형성을 위한 capping layer의 선택적 에칭
오지숙, 배진성, 서동완, 임상우
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
11 pMOS gate stack capping layer의 고선택비 습식에칭 기술연구
오지숙, 윤미현, 임상우
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
10 The Characterization of N-channel Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor (nMOSFET) with Sputtered SrTiO3-Doped HfO2 Gate Dielectrics
최창환
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
9 High-k/capping layer의 Gate Stack Etch Post Cleaning 연구
오지숙, 임경택, 윤미현, 임상우
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회
8 CMOS SCALING AND GATE STACK TECHNOLOGY PROGRESS
최리노
한국재료학회 2008년 봄 학술대회
7 Electrical characteristics of vertical type transistors using Alq3 and Bphen
김영도, 오세용
한국고분자학회 2007년 가을 학술대회
6 Nonvolatile charge trap memory devices using ordered arrays of cobalt nanocrystals from diblock copolymer micelles
이장식, 이재갑, 손병혁
한국고분자학회 2007년 봄 학술대회
5 C60을 사용한 수직형 유기박막 트랜지스터의 전극 종류에 따른 특성분석에 관한 연구
김영도, 황선각, 오세용
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
4 45nm 반도체 세정기술
조중근
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회