| 번호 | 제목 |
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FRAM 소자 응용을 위한 SrBi2Ta2O9 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of SrBi2Ta2O9 Thin Films for FRAM pplication 박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식각 장비 진단|Diagnostics of High Density Plasma Etcher by Langmuir Probe 박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Level Set 방법을 이용한 고밀도 플라즈마 식각 프로파일 모델링|Mathematical Modeling of Etched Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method 임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Lim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
