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대직경·무결점 실리콘 wafer 생산을 위한 Power Control Mode 개발|Development of Power Control Mode for Large Diameter/No defection Silicon Wafer Production
김재훈, 정재학, 이문용, 박진국, 손지권|Jaehoon Kim, Jae Hak Jung, Moonyong Lee, Jinguk Park, Jikwon Sohn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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비이온성 계면활성제에 의해서 안정화된 실리카 입자 분산계의 유변학적 거동과 안정성|Rheological Behavior and Phase Stabilities of Silica Suspensions Stabilized with Nonionic Surfactants
소재현, 양승만|Jae-Hyun So, Seung-Man Yang
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
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상분리 현상을 이용한 분자크기 광 다이오드의 제작|Fabrication of Molecular Scale Photodiode using Phase Separation Technique
조경상, 최정우, 이원홍, 송남웅, 김동호|K.S. Cho, J.-W. Choi, W.H. Lee, N.W. Song, D. Kim
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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실리콘 웨이퍼의 폴리싱 공정에서 웨이퍼의 제거속도에 미치는 공정변수의 영향|Effect of process parameters on the removal rate of wafer surface in the polishing process of silicon wafer
배선혁, 김도현|Sun Hyuck Bae, Do Hyun Kim
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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SBA를 이용한 반도체 제작 공정에 대한 스케쥴링|SCHEDULING OF SEMICONDUCTOR FABRICATION PROCESSES
복진광, 이승권, 박선원|Jinkwang Bok, Seungkwon Lee, Sunwon Park
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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Peptization 방법에 의한 colloidal silica의 제조|Preparation of colloidal silica using peptization method
이용걸, 이정규, 김정민, 이현구|Yong-Kul Lee, Jung-Kyu Lee, Jung-Min Kim, Rhee Hyun-Ku
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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Silicon Wafer 의 Hydrogen Plasma Dry Cleaning 시 수소 원자 재결합 반응
이진혁, 김영채
한국화학공학회 1996년 봄 학술대회 |
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Silica 와 Silicon Wafer 표면 위에서 수소 원자의 재결합 반응
오인환, 선양국
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
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Silica 와 Silicon Wafer 표면 위에서 수소 원자의 재결합 반응
박은상, 김영채
한국화학공학회 1995년 가을 학술대회 |
