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Preparation of Low-k Nanoporous Thin Films from Porogen Grafted Poly (methylsilsesquioxane) PMSSQ
차봉준;이진규;차국헌
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Characterization of Low-k Thin Film Prepared from Structure-controlled PMSSQ Copolymers
최연승;윤도영;이진규;이희우;차국헌
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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나노 기공 구조를 가지는 절연막의 반도체 응용 현황
정현담
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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High Pressure Heterophase Condensation Technology to Prepare Polymeric Nano-Structued Materials
김중현;이준영;김승렬
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Synthesis and Characterization of Novel Polyimides Containing Phosphine Oxide and Adamantane Moieties
임상균;윤태호
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Effect of Molecular Weight on Microstructures and Properties of Bridged Poly(methyl silsesquioxane) Copolymers
민성규;이진규;윤도영;이희우
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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Synthesis and characterization of Novel Organic Inorganic Hybrid block copolymers
김국지;Patrick Theato;윤도영
한국고분자학회 2003년 봄 학술대회 |
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분산 축중합법에 의한 고분자 초분자 및 나노구조 제어|Hyper Structured Polymeric Nano Materials via Controlled Dispersed Condensation Polymerization
김중현,이준영|Jung-Hyun Kim,Jun-Young Lee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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CHF3 플라즈마에서 다공성 저유전율 물질 식각의 각도 의존성|Angular Dependence of Porous Low-k Material Etch Rate in a CHF3 Plasma
황성욱,이겨레,민재호,문상흡|Sung-Wook Hwang,Gyeo-Re Lee,Jae-Ho Min,Sang Heup Moon
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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VTMS 전구체를 이용한 직접 플라즈마 CVD 저유전체 박막의 제조 및 평가|Low-k SiCOH films by direct plasma CVD with VTMS(vinyltrimethylsilane)
곽상기,이시우|Sang Ki Kwak,Shi Woo Rhee
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
