화학공학소재연구정보센터
번호 제목
48 기능기에 따른 구리산화물 제거 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회
47 하이브리드 플라즈마를 이용한 구리산화물 제거 및 특성 연구
고천광, 이원규
한국공업화학회 2011년 봄 학술대회
46 상압플라즈마에 의한 구리산화물의 용해 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
45 미세금속배선 형성을 위한 그라비어 인쇄 공정연구
정 은, 서승우, 이동현, 조성민
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회
44 인터포저에 적용할 관통형 실리콘 전극 형성에 관한 연구
장재권, 임승규, 서수정
한국재료학회 2010년 봄 학술대회
43 SiOC low k thin film via solution process.
김정주, 이윤주, 김수룡, 김영희, 최두진
한국재료학회 2010년 봄 학술대회
42 반도체 후공정에서 세정공정 및 세정액 특성 평가
고천광, 이원규
한국공업화학회 2010년 가을 학술대회
41 Polyol법에 의한 구리나노입자의 합성 및 분산 연구
유혜연, 이기라
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회
40 Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구
고천광, 이원규
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회
39 FABRICATION OF NANOSCALE PATTERNS BY NANOIMPRINT LITHOGRAPHY AND THEIR APPLICATIONS
정건영
한국고분자학회 2009년 가을 학술대회