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Control of the electrical resistivity of Ni-Fe wires for fusible resistors 이경미, 강두원, 김창구, 김준현, 박정근 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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Effect of temperatures on the electrical resistivity of Ni-Cr wires 이경미, 강두원, 김창구, 김준현, 박정근 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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Etch mechanism of Si3N4 in a C4F6/Ar/O2/CH2F2 plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of Si3N4 etch rates in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Effect of bias voltage on the angular dependence of SiO2 etch rates in C4F8 plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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A cyclic process to control the diameter of SiO2 contact holes 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Surface treatment to control the electrical resistivity of metal 박정근, 김준현, 조성운, 김창구, 강두원, 이경미, 백창용 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Effect of gas composition on the angular dependence of SiO2 etch rates in fluorocarbon plasmas 박정근, 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Angular dependence of SiO2 etch rate in fluorocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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Directional slanted plasma etching of silicon under practical plasma processing conditions 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |