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산소 유량비에 따른 Al doped ZnO 박막의 전기광학적 특성 연구|Influence of oxygen flow ratio on the electrical and optical properties of ZnO:Al thin film prepared by D.C reactive magnetron sputtering
김쇄현, 문연건, 정창오, 박종완
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Preparation of Cu thin films By Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition using Copper(Ⅱ) dimethylamino-2-propoxide
윤동준, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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Preparation of TaN thin film By H2 Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum
김등관, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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실리콘 웨이퍼 공정에서 in-situ 표면 및 기상특성
소 현, 김영채
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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수소 플라즈마 처리가 Pd에 의한 MILC에 미치는 영향에 관한 연구|A Study on the effect of Hydrogen plasma on Pd-Induced Lateral Crystallization (Pd-ILC)
오현욱, 윤여건, 주승기
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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실리콘 표면 유기물과 산화막 제거를 위한 플라즈마 효과|Effect of plasma for the removal of organic and oxide layer on Si surface
소 현,김의열,조일래,전형탁,김영채|Hyun Soh,Ui Yeol Kim,Il Lea Cho,Hyeongtag Jeon,Young Chai Kim
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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SiO2와 Si 표면에서의 수소 원자 재결합|Hydrogen Atom Recombination at SiO2 and Si Surface
문수현, 이기형, 소현, 김영채, 문세기|Su Hyun Mun, Ki Hyung Lee, Hyun Soh, Young Chai Kim, Sei-Ki Moon
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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플라즈마와 촉매 반응에 의한 천연가스로부터 C2 탄화수소, 플라즈마 black 및 수소제 조에 관한 연구|The Study on Manufacture of C2 hydrocarbons, Plasma Black and Hydrogen from Natural Gas by Plasmic Catalysis
조원일, 오영삼, 박달령, 백영순, 방효선, 김영채|Wonihl Cho, Youngsam Oh, Dalryung Park, Youngsoon Baek, Hyosun Pang, Youngchai Kim
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과|The Effects of H2 and N2 Plasmain Metal Organic Chemical Vapor Deposition of TiN using TDEAT
윤주영, 이시우|Ju-Young Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
