| 8 |
삼차원 구조제어를 통한 고식각선택비 제어기술
황석호
한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
| 7 |
축전결합 CF4/O2/Ar 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate 건식식각 비교
노호섭, 박연현, 이성현, 박주홍, 송한정, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 6 |
Cu mask를 이용한 높은 선택도의 아크릴 건식식각 연구
박주홍, 이제원, 김재권, 이성현
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 5 |
O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각
박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 조관식, 이제원
한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
| 4 |
O2/SF6 플라즈마를 이용한 Poly ethylene terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구(Dry Etching of Poly ethylene terephthalate(PET) in O2/SF6 Plasmas)
박연현, 주영우, 김재권, 백인규, 이진희, 이제원, 조관식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 3 |
평판형 유도결합 BCl3/CF4 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식 식각|Selective Dry Etching of GaAs over AlGaAs in a Planar Inductively Coupled BCl3/CF4 Plasma
유승열, 장수욱, 박민영, 이장희, 노호섭, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
| 2 |
평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교|Comparison of Selective and Non-Selective Dry Etching of GaAs/AlGaAs and GaAs/InGaP using Planar Inductively Coupled Plasmas
박민영, 최충기, 류현우, 노호섭, 문준희, 유승열, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 백인규, 권민철, 박건수, 윤진성
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
| 1 |
코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide
정영순, 송오성
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
