화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
19	Microemulsion 방법을 이용한 CMP용 CeO₂/SiO₂ 나노 연마입자의 제조 정상호, 이대원, 이관영 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
18	Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si₂Cl₆ and NH3 as the Precursors 윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기 한국재료학회 2008년 봄 학술대회
17	Electroless Plating of CoWP Thin Films Using Alkali-Free Chemicals 김태호, S.M.S.I. Dulal, 김창구 한국화학공학회 2007년 가을 학술대회
16	Surface passivation of BaMgAl₁₀O₁₇O:Eu²⁺ coated with Silicon oxide by catalyzed atomic layer deposition 정영규, 김혁종, 김희규, 최병호 한국재료학회 2007년 가을 학술대회
15	Electroless plating of capping layers for copper interconnection using alkali metal-free chemicals 김태호, 윤형진, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
14	활성산소종의 확산에 의한 실리콘 산화막 형성 이원규, 고천광 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
13	Ru CMP(chemical mechanical planarization) 에서 pH 변화가 Ru의 연마거동에 미치는 영향 조병권, 김인권, 권태영, 강봉균, 박진구, 박형순 한국재료학회 2007년 봄 학술대회
12	다층 구조를 가지는 웨이퍼 막질의 선택적 건식 식각방법 정재목, 배재현, 임권택 한국공업화학회 2007년 가을 학술대회
11	반도체 소자의 점착현상을 방지하기 위한 나노박막 형성 정미희, 최호석 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
10	Electroless plating of Co-alloy capping layers for copper interconnection 김태호, 윤형진, 김창구 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회