화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 DC 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 기판온도 영향에 따른 특성 연구|Influence of substrate temperature on the properties of Al doped ZnO(ZnO:Al) thin films deposited by direct current magnetron sputtering
Hong Mo Koo, Bo Rae Bang, Yeon Keon Moon, Se Hyun Kim, Chang-Oh Jeong, Jong Wan Park
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
3 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 Ge2Sb2Te5 박막의 결정화 거동 및 전기적 특성에 관한 연구|The study of the crystalline behavior and electrical property of nominal-composition Ge2Sb2Te5 thin films prepared by dc-magnetron sputtering
김현정, 권순용, 최시경, 박주철, 임창빈
한국재료학회 2004년 가을 학술대회
2 DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 기계적 특성|Effect of reactive CH4 gas flow in sputtering process on tribological properties of deposited boron carbide thin film
이광은, 김종오, 김종희, 박명진
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
1 DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 Ge2Sb2Te5 박막의 증착|Deposition of Ge2Sb2Te5 thin films by DC magnetron sputtering
송영수,변요한,김혜인,정지원|Young Soo Song,Yo Han Byun,Hye In Kim,Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회