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Level set 방법을 이용한 실리콘 식각 프로파일 모사|Simulation of Silicon Etch Profiles in High Density Plasmas using a Level Set Method
임연호, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching
임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 SiC박막 식각특성|Etching of SiC Thin Films in Cl2/Ar Inductively Coupled Plasmas
최창선, 임연호, 박진수, 김태희, 한윤봉|C. S. Choi, Y. H. Im, J. S. Park, T. H. Kim, Y. B. Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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FRAM 소자 응용을 위한 SrBi2Ta2O9 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of SrBi2Ta2O9 Thin Films for FRAM pplication
박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식각 장비 진단|Diagnostics of High Density Plasma Etcher by Langmuir Probe
박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 반도체 재료 식각기술|Etching Technology of Semiconductor Materials in High Density Plasmas
한윤봉|Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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강유전체 메모리 소자를 위한 Ir 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Iridium Thin Film for Ferroelectric Random Access Memory
임동규, 정지원|Dongkyu Lim, Chee Won Chung
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마 발생자치 2차원 모델링|Two-Dimensional Modeling of High Density Plasma Source
이상덕, 윤창연, S. Berezhnoj, 신치범|Sang Duk Lee, Chang Yeon Yoon, S. Berezhnoj
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
