화학공학소재연구정보센터
번호 제목
16 Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications
박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
15 펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에대한 공정 변수의 영향
김동주, 박정훈, 강진이, 나소노바 안나, Piyabutr Sunsap, 김교선
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
14 단일전구체 Hexamethyldisilane를 이용한 SiC 박막의 성장
이정휴, 이경훈, 김재수
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
13 SiH4 PCVD 공정에서 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향
김동주, 김교선
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
12 회전하는 실린더형 SiH4 PCVD 반응기에서의입자 코팅 분석
김동주, 김교선
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
11 압력, 온도, 유속에 따른 SiC 박막의 특성
이도한, 이성일, 김나리, 김재수, 변동진
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
10 펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에 대한 수치분석
박정훈, 강진이, Nasonova Anna, Piyabutr Sunsap, 김동주, 김교선
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
9 Si:H 박막 코팅용 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향
박정훈, 강진이, Nasonova Anna, Piyabutr Sunsap, 김동주, 김교선
한국공업화학회 2006년 가을 학술대회
8 Cinnammate 작용기를 지닌 무기고분자 전구체를 이용한 SiCN 세라믹 패턴 제조
김석선, 김동표
한국공업화학회 2006년 봄 학술대회
7 실란 펄스 플라즈마 공정에서의 플라즈마 화학 분석
김동주, 김교선
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회