번호 | 제목 |
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16 |
Characteristics of SiO2 /Si3N4/SiO2 multilayer Grown by Atomic Layer Deposition for Flash memory applications 박광철, 정광수, 윤원덕, 박종욱, 나사균, 이원준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
15 |
펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에대한 공정 변수의 영향 김동주, 박정훈, 강진이, 나소노바 안나, Piyabutr Sunsap, 김교선 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
14 |
단일전구체 Hexamethyldisilane를 이용한 SiC 박막의 성장 이정휴, 이경훈, 김재수 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
13 |
SiH4 PCVD 공정에서 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향 김동주, 김교선 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
12 |
회전하는 실린더형 SiH4 PCVD 반응기에서의입자 코팅 분석 김동주, 김교선 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
11 |
압력, 온도, 유속에 따른 SiC 박막의 특성 이도한, 이성일, 김나리, 김재수, 변동진 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
10 |
펄스 SiH4 플라즈마 공정에서 입자 성장에 대한 수치분석 박정훈, 강진이, Nasonova Anna, Piyabutr Sunsap, 김동주, 김교선 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
9 |
Si:H 박막 코팅용 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향 박정훈, 강진이, Nasonova Anna, Piyabutr Sunsap, 김동주, 김교선 한국공업화학회 2006년 가을 학술대회 |
8 |
Cinnammate 작용기를 지닌 무기고분자 전구체를 이용한 SiCN 세라믹 패턴 제조 김석선, 김동표 한국공업화학회 2006년 봄 학술대회 |
7 |
실란 펄스 플라즈마 공정에서의 플라즈마 화학 분석 김동주, 김교선 한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |