| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Atomic layer deposition으로 증착된 Ta2O5 박막의 전도기구에 대한 UV ozone annealing 효과|Effects of UV ozone annealing on conduction mechanism in Ta2O5 thin films deposited by atomic layer deposition 엄다일, 전인상, 노상용, 황철성, 김형준 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Atomic layer deposition으로 증착된 Ta2O5 박막의 전도기구에 대한 UV ozone annealing 효과|Effects of UV ozone annealing on conduction mechanism in Ta2O5 thin films deposited by atomic layer deposition 엄다일, 전인상, 노상용, 황철성, 김형준 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |