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Investigation of Etch Characteristics of Deep Si Etching in PFC- and UFC-containing Plasmas
이형무, 권혁규, 우상호, 김일욱, 김창구
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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핵융합 연구개발 동향
권 면
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Compariosn of etch characteristics in deep Si etching using PFC- and UFC-containing plasmas
이형무, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process
권혁규, 이형무, 김창구
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
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ITER 삼중수소 저장ㆍ공급용기 개념설계를 위한 Helium-Loop 냉각성능 전산해석
이종국, 심명화, 정흥석
한국공업화학회 2007년 가을 학술대회 |
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양성전해질 부직포의 리소자임흡착특성
최혁준, 김민
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Chemical hydride의 수소 발생 및 억제 연구
이상서, 이관영, 김성현, 송광호
한국공업화학회 2007년 봄 학술대회 |
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Investigation of PVDF/DBP system for Hollow Fiber Membrane Preparation by Thermally Induced Phase Separation
허치행, 김진호, 김성수
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회 |
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Facile Synthesis of Quadruple Hydrogen-bonded Polymer Electrolytes for Dye-sensitized Solar Cells
김종학, 이경주, 이도경, 김용우
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Environment-Friendly Plasma Etching of High Aspect Ratio Deep Si
이형무, 박창한, 김창구
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
