화학공학소재연구정보센터
번호 제목
1 DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA
박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회