화학공학소재연구정보센터
번호 제목
20 MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성
백정호, 박준식, 이혜진, 이낙규, 강성군
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
19 다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구
이승렬, 안경민, 안병태
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
18 Microwave공정을 추가한 고상결정화법으로 형성한 박막의 비교 연구
김명식, 홍진원, 배규식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
17 MOCVD법과 RPALD법을 이용한 금속유도결정화법에 관한 연구
김명식, 홍진원, 배규식
한국재료학회 2007년 봄 학술대회
16 Remote Plasma ALD법을 이용한 코발트 금속유도 결정화법에 관한 연구
홍진원, 김명식, 이근우, 배규식
한국재료학회 2006년 가을 학술대회
15 니켈 금속유도 결정화법으로 형성한 다결정 실리콘 박막의 물성및 미세구조 변화
홍진원, 배규식
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
14 P+/B+ 이온샤워 도핑 후 열처리 시 활성화 효율에 관한 연구
진법종, 이주열, 노재상
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
13 비정질 실리콘 박막의 고온 고상결정화 거동
오성재, 홍원의, 노재상
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
12 엑사이머 레이저와 고상결정화법을 이용한 다결정 실리콘의 제조에 관한 연구
강나영, 이해성, 남승의
한국재료학회 2006년 봄 학술대회
11 기상유도결정화를 이용한 AMOLED 박막트랜지스터용 대구경 결정립을 가진 다결정실리콘 박막 성장|Growth of polycrystalline Si film with very large grain sizes using vapor induced crystallization for AMOLED TFTS
엄지혜, 안병태
한국재료학회 2005년 가을 학술대회