번호 | 제목 |
---|---|
20 |
MEMS 소자용 단결정 실리콘과 다결정 실리콘 마이크로 인장 시편의 제조 및 특성 백정호, 박준식, 이혜진, 이낙규, 강성군 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
19 |
다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구 이승렬, 안경민, 안병태 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
18 |
Microwave공정을 추가한 고상결정화법으로 형성한 박막의 비교 연구 김명식, 홍진원, 배규식 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
17 |
MOCVD법과 RPALD법을 이용한 금속유도결정화법에 관한 연구 김명식, 홍진원, 배규식 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
16 |
Remote Plasma ALD법을 이용한 코발트 금속유도 결정화법에 관한 연구 홍진원, 김명식, 이근우, 배규식 한국재료학회 2006년 가을 학술대회 |
15 |
니켈 금속유도 결정화법으로 형성한 다결정 실리콘 박막의 물성및 미세구조 변화 홍진원, 배규식 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
14 |
P+/B+ 이온샤워 도핑 후 열처리 시 활성화 효율에 관한 연구 진법종, 이주열, 노재상 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
13 |
비정질 실리콘 박막의 고온 고상결정화 거동 오성재, 홍원의, 노재상 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
12 |
엑사이머 레이저와 고상결정화법을 이용한 다결정 실리콘의 제조에 관한 연구 강나영, 이해성, 남승의 한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
11 |
기상유도결정화를 이용한 AMOLED 박막트랜지스터용 대구경 결정립을 가진 다결정실리콘 박막 성장|Growth of polycrystalline Si film with very large grain sizes using vapor induced crystallization for AMOLED TFTS 엄지혜, 안병태 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |