| 11 |
초임계 이산화탄소를 이용한 건식 웨이퍼 세정시 이산화탄소와 chemical간의 상거동 연구
김태형, 김진우, 한갑수, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
| 10 |
초임계 단일상 혼합유체를 이용한 반도체 패턴 웨이퍼상의 post-metal each residue 세정 연구
김진우, 강창일, 김태형, 한갑수, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
| 9 |
Measurements and Correlation of High-Pressure VLE of Binary CO2-Isopropanol System
정연근, 김진우, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
| 8 |
고압하에서 CO2와 2-Propanol 혼합물의 상거동 연구
정연근, 김진우, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
| 7 |
초임계 이산화탄소를 이용한 건식 웨이퍼 세정시 이산화탄소와 chemical간의 상거동 연구
김태형, 김진우, 임종성, 유기풍
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
| 6 |
반도체 습식 세정 공정중 SC1 세정 용액에 킬레이팅 에이전트 첨가에 의한 오염 입자와 금속 오염물 제거 효과|Removal of Particles and Metal Impurities by adding of Chelating Agent onto SC1 Cleaning Solution in Semiconductor Wet Cleaning Process
이승호, 이상호, 권태영, 박진구, 배소익, 김인정, 이건호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
| 5 |
반도체세정 기술개발 정책|반도체세정 기술개발 정책
안동준, 최근민
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
| 4 |
RF 플라즈마를 이용한 Si wafer 유기화합물의 제거실험에 관한 연구
정미희, 최호석
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
| 3 |
Pd/C 촉매를 이용한 Maleic anhydride로부터 GBL의 합성
이미진, 이원묵, 이철우
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
| 2 |
3-D PTV 기술 및 CFD code를 이용한 반도체 세정 Bath내의 유동현상 측정 및 해석|The Measurement and Analysis of Phenomenological Fluid Motion in the Cleaning Bath for Semiconductor Process Using 3-D PTV Technique & CFD
강운용, 이민수, 함승주, 박헌휘|Woon-Yong Kang, Min-Soo Lee, Seung-Joo Haam, Hun-Hyee Park
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
