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반도체 폐슬러리에 함유된 Si를 회수하기 위한 분리공정의 특성에 대한 비교
이정묵, 함동수, 김나랑, 주지선
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
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세륨옥사이드를 충전제로 사용한 폴리우레탄 복합체의 제조와 물성
안영준, 김상우, 서관호
한국고분자학회 2005년 봄 학술대회 |
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Hydrothermal Synthesis and Characterization of Nanocrystalline Ceria Powders
김진수, 박준성, 권병완
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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Cu CMP에서 나노 콜로이달 입자의 크기가 연마제거율과 Cu/TaN 선택비에 미치는 영향|Effect of Nano-Colloidal Abrasive size on Removal Rate and Selectivity of Cu/TaN Film in Cu CMP
박진형, 김민석, 백운규, 박재근
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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Cu-CMP에서 슬러리 첨가제에 따른 Cu와 TaN의 선택비 거동|Effect of Additive on Cu/TaN Selectivity in Cu-CMP
홍석훈, 송 철, 김재욱, 김민석, 박재근
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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반도체 웨이퍼 절단공정의 폐액에 함유된 Si회수를 위한 침지형 분리막공정의 운전조건에 관한 연구
이정묵, 강경훈, 김나랑, 주지선
한국공업화학회 2004년 가을 학술대회 |
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분무열분해를 이용한 경희토류 산화물 입자의 제조
강동준, 김선수, 이승호
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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나노입자 제조 및 응용기술 동향
오성근
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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침지형 막분리기를 이용한 절삭유제의 분리회수
주지선, 강경훈, 윤용승
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리의 Non-Prestonian 거동에서 연마 입자의 크기와 계면활성제의 농도가 미치는 영향|Effects of Abrasive Size and Surfactant Concentration on the Non-Prestonian behavior of Nano-Ceria Slurry for STI CMP
김성준, Takeo Katoh, 강현구, 백운규, 박재근
한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
