| 번호 | 제목 |
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Analysis of seed layer profiles inside the vias 김창규, 이원종 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
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Thermal stability of chemical vapor deposited Ru thin films on TiN substrate and SiO2 substrate 김범석, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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Co2(CO)8(Dicobalt Octacarbonyl) 전구체를 이용한 MOCVD Co 박막의 균일한 증착 특성 및 높은 순도에 관한 연구|Highly conformal deposition of pure Co films by MOCVD using Co2(CO)8 as a precursor 이정길, 이재갑 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
