화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Engineering of catalytic and semiconductor surfaces
문상흡
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
2 SiO2 Etching Studies in Inductively Coupled C4F6 Plasma
채화영, 장원석, 유동훈, 김진태, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2010년 봄 학술대회
1 Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 박막의 식각|Inductively Coupled Plasma Etching of GaN Films with Cl2/Ar Discharges
한윤봉|Bum-Chul Cho, Yeon-Ho Im, Jin-Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회