번호 | 제목 |
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3 |
Engineering of catalytic and semiconductor surfaces 문상흡 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
2 |
SiO2 Etching Studies in Inductively Coupled C4F6 Plasma 채화영, 장원석, 유동훈, 김진태, 윤정식, 임연호 한국화학공학회 2010년 봄 학술대회 |
1 |
Cl2/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 박막의 식각|Inductively Coupled Plasma Etching of GaN Films with Cl2/Ar Discharges 한윤봉|Bum-Chul Cho, Yeon-Ho Im, Jin-Soo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |