화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 TiO2 광촉매 박막의 항균 특성|Antibiotic properties of TiO2 photocatalyst
유영진, 김제헌, 김정기, 윤의한, 임실묵
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
5 반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target
이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
4 반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 CoSi2 에피층 성장|Formation of Co-N film using reactive sputtering of Co and growth of epitaxial CoSi2 using the Co-N film
이승렬, 김선일, 안병태
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
3 고유전체 전극물질로서의 TaN 응용가능성 연구|Research on applicability of TaN as an electrode material for high-k dielectrics
김영순, 이태호, 안진호
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
2 반응성 스퍼터링에 의한 TiAlN 박막의 증착|TiAlN thin film deposition by reactive sputtering
송영수, 변요한, 김혜인, 윤진구, 정지원|Young Soo Song, Yo Han Byun, Hye In Kim, Jin Koo Yoon, Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회
1 LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD
최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회