번호 | 제목 |
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TiO2 광촉매 박막의 항균 특성|Antibiotic properties of TiO2 photocatalyst 유영진, 김제헌, 김정기, 윤의한, 임실묵 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
5 |
반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target 이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
4 |
반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 CoSi2 에피층 성장|Formation of Co-N film using reactive sputtering of Co and growth of epitaxial CoSi2 using the Co-N film 이승렬, 김선일, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
3 |
고유전체 전극물질로서의 TaN 응용가능성 연구|Research on applicability of TaN as an electrode material for high-k dielectrics 김영순, 이태호, 안진호 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
2 |
반응성 스퍼터링에 의한 TiAlN 박막의 증착|TiAlN thin film deposition by reactive sputtering 송영수, 변요한, 김혜인, 윤진구, 정지원|Young Soo Song, Yo Han Byun, Hye In Kim, Jin Koo Yoon, Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
1 |
LPCVD로 성장된 Ta2O5 박막 및 커패시터 특성|Thin film capacitors of Ta2O5 grown by LPCVD 최영석, 조성민|Young-Suk Choi, Sung Min Cho 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |