| 번호 | 제목 |
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The Effects of NH3 Plasma Treatment on the Density Profile of Low Dielectric Organosilicate Films 김수한, 주상현, 차국헌, 한준희* 한국고분자학회 2002년 봄 학술대회 |
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구리의 화학·기계적 연마공정에서 연마속도와 표면 평탄도에 미치는 화학반응의 영향|EEffects of the Chemical Reaction on the Polish Rate and Surface Roughness in the Copper CMP 배선혁, 김도현|Sun Hyuk Bae, Do Hyun Kim 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
