| 번호 | 제목 |
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| 3 |
Fabrication and testing of thin film bulk acoustic wave resonator using deep Si etch process 안영배, 문정현, 이종호, 이재빈, 정학준, 김형준 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
| 2 |
Fault Detection System Design in Semiconductor Etch Process with Multi-way Support Vector Regression 우경섭, 이창준, 윤인섭 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
| 1 |
High Density Plasma Etching of Hard Mask Materials of SiO2, α-C:H, and ZnO 라현욱, 옥치원, 이 석, 김상훈, 한윤봉 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
