| 8 |
고유전물질의 게이트 전극 활용을 위한 TaN, TaSiN의 일함수 및 열안정성|Workfunction and thermal stability of TaN, TaSiN for gate electrodes of high-k dielectrics
김광수, 김영배, 최덕균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
| 7 |
전계유도 방향성 결정화 특성과 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 제작|Characterization of Field Aided Lateral Crystalization(FALC) and fabrication of low temperature poly-si TFT
장현웅, 김현철, 최덕균
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
| 6 |
코발트/니켈 복합 실리사이드의 Metal Contact 건식식각 안정성|Dry Etch Stability with Co/Ni Composite Silicide
정영순, 송오성
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
| 5 |
Aspect ratio에 따른 array 패턴들의 전계 유도 방향성 결정화 및 특성|Field aided lateral crystallization and characterization of array patternswith various aspect ratios
김병수, 김영배, 최덕균
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
| 4 |
Deuterium Plasma처리가 저온 다결정 실리콘 TFT 안정성에 미치는 영향|The Effect of Deuterium Plasma Treatment on Reliability of Low Temperature Polycrystalline Thin Film Transistor
정영균, 박원규, 남영민, 손송호, 김동환
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
| 3 |
구리박막의 전기화학적 연마공정에서 pH 및 potential의 영향에 관한 연구
박경순, 오윤진, 정찬화
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
| 2 |
연마제를 포함하지 않는 알칼리 용액에서 연성고분자패드를 이용한 폴리실리콘의 기계적 화학적 연마에 관한 연구|The abrasive-free CMP process of poly-silicon film using alkaline solution and soft polymer pad
박경순,오윤진,유재옥,정태우,김일욱,백종성,정찬화|Gyung-Soon Park,Youn-Jin Oh,Jae-Ok Yoo,Tae Woo Jung,Il-Wook Kim,Jong Sung Paik,Chan-Hwa Chung
한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
| 1 |
레이저에너지에 따른 폴리실리콘 박막의 재결정화 특성 분석|Characterization of laser annealed poly-silicon films
이 청, 이시우|Chung Yi, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1999년 가을 학술대회 |
