번호 | 제목 |
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극자외선 노광 공정용 마스크 제작 공정의 최적화 연구|Optimization of mask fabrication process for EUV lithography 김우삼, 김충용, 김태근, 이승윤, 안진호 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
2 |
UV-Nano imprint Lithography를 이용한 bilayer 형성과 금속 증착|Fabrication of bilayer morphology using UV-NIL system and metal deposition 양기연, 홍성훈, 이헌 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
1 |
비전통적인 방법에 의한 고분자 패터닝|Unconventional methods of patterning polymers 강달영,서갑양,김연상,윤현식,이홍희|Dahl-Young Khang,Kahpyang Suh,Yunsang Kim,Hyunsik Yoon,Hong H. Lee 한국화학공학회 2001년 가을 학술대회 |