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Slurry 공정에서 Vacuum Oven 폭발 사고의 원인 분석 하동명, 이수경 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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실리콘웨이퍼의 65nm Particle 제어|Polished Silicon Wafer Cleaning - 65 nm Size Particle Control 배기만 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Advances in Post CMP Cu Cleaning|Advances in Post CMP Cu Cleaning 박진구 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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기계적, 전기화학적 방법을 통한 slurry에 첨가되는 pH 적정제가 Cu CMP에 미치는 영향 분석|The effect of Cu CMP on pH adjustor of slurry by the Mechanical and Electrochemical analyses 강영재, 박진구 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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다양한 슬러리 조건에서의 Ru 박막의 Etching 및 Polishing 거동|Etching and Polishing Behaviour of Ru Thin Film at Various Slurries Condition 이진형, 이상호, 박진구 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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무연 압전세라믹스 (Bi0.5Na0.5)0.94Ba0.06TiO3의 소결 특성 및 전기적 특성|Sintering Behavior and Electrical Properties of (Bi0.5Na0.5)0.94Ba0.06TiO3 Lead-Free Piezoelectric Ceramics 손영진, 최문관, 조경원, 권순용, 김일호, 김영민, 어순철 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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냉음극 형광램프용 슬러리 합성 및 발광 특성 향상|Synthesis of Slurry for Cold Cathode Fluorescent Lamp and Improvement of Its Luminescent Properties 김민완, 김희철, 김석환, 이상우, 최병호, 김경환, 손우근 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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STI CMP용 Ceria Slurry에 관한 연구 무기 연마 입자와 유기 첨가제 소재현, 김사라, 김남수, 이동준, 양승만 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Prediction and control of polymer properties for HDPE process with Ziegler-Natta catalysts 오상준, 이진석, 나상섭, 박선원 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Characteristics of Microencapsulated PCM Slurry as a High Density Thermal Fluid 김필수, 주태운, 최영찬, 이재구, 조창기 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |